“手眼腦腳”合一:富唯復合機器人解鎖半導體精密制造新高度
發布日期:
2025-07-18

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在半導體制造領域,毫米級精度、潔凈環境適配與柔性生產已成為行業剛需。富唯智能復合機器人以“手腳眼腦”一體化架構(協作機械臂+AMR底盤+3D視覺+AI決策系統),直擊晶圓處理、固晶轉運、鍵合絲復繞等環節的痛點,為半導體行業提供可量化的技術突破。以下從核心技術到場景落地,展現真實賦能路徑。


“手眼腦腳”合一:富唯復合機器人解鎖半導體精密制造新高度

一、技術硬實力:半導體精密制造的三大支柱

1.毫米級操作精度

自研2D/3D視覺平臺實現分層精度控制:2D場景抓取精度±0.05mm(如芯片料框定位),3D復雜姿態識別精度±0.2mm(如晶圓抓取),遠超人工±0.5mm的誤差極限。


“手眼腦腳”合一:富唯復合機器人解鎖半導體精密制造新高度


2.跨區域柔性協同

激光SLAM導航±5mm定位精度:360°全向底盤在密集設備間自由穿行,路徑規劃響應時間≤0.1秒,替代傳統軌道傳輸的剛性限制。


“手眼腦腳”合一:富唯復合機器人解鎖半導體精密制造新高度


ForwardControl智能中樞:支持100臺機組集群調度,動態規避擁堵,某固晶車間30臺機組協同效率提升200%。


二、落地實戰:半導體核心場景的效能革命

案例1:晶圓轉運與固晶車間——良率99.9%的顛覆

痛點:人工搬運導致晶圓靜電損傷、破片率高(傳統良率≤98.5%),且千級潔凈車間人力成本翻倍。

方案:富唯復合機器人集群承擔晶圓從倉儲到固晶機的全流程轉運:

3D視覺動態補償料框位姿偏移,18秒完成單次轉運節拍;

全封閉機身+防靜電抓手,消除微粒污染,良率提升至99.9%;

單臺機器人服務15臺固晶設備,人力成本年降42萬元。

 

案例2:鍵合絲復繞自動化——24小時“零干預”生產

痛點:復繞環節人工上下料勞動強度大,易致工人肌肉勞損,且夜間效率驟降30%。

 

方案:協作機械臂+AMR底盤組合:

狹窄空間內精準對接復繞機與料柜,負載8kg線材無晃動;

單機同步服務2臺復繞機,故障率下降90%;

機器視覺在線檢測鍵合絲排線缺陷,漏檢率趨近于零。


案例:芯片料框精準抓取——兼容千種型號的柔性

痛點:芯片料框規格差異大(超1000種),人工分揀易混淆,切換效率低下。

方案:深度學習+模塊化夾具快速換型:

AI算法毫秒級識別料框類型與芯片姿態,抓取成功率99.8%;